Högtemperaturvakuumkomponenter
Värmebehandling innefattar främst oxidations-, diffusions- och glödgningsprocesser.Oxidation är en additiv process där kiselskivor placeras i en högtemperaturugn och syre tillsätts för att reagera med dem för att bilda kiseldioxid på skivans yta.Diffusion är att flytta ämnen från området med hög koncentration till området med låg koncentration genom molekylär termisk rörelse, och diffusionsprocessen kan användas för att dopa specifika dopningsämnen i kiselsubstratet och därigenom ändra konduktiviteten hos halvledarna.
